FEK3300 Tillämpad mikro- och nanofabrikation 15,0 hp

Kursen består av praktik och utbildning på tio mikro- eller nanoverktyg. Valet av verktyg bör spegla nödvändiga verktyg för att självständigt kunna tillverka och utvärdera en mikro- eller nanostruktur    

Efter fullgjord kurs ska studenten kunna:

• Beskriva hur en uppsättning mikrofabrikationsverktyg eller processer fungerar och kritiskt granska prestandabegränsningar.
• Självständigt använda och bemästra dessa verktyg eller processer.
• Utvärdera tillverkningsresultaten från dessa verktyg och processer.
• Tillverka mikro- eller nanostrukturer självständigt.

Kursen är öppen för studerande i KTH EES forskarprogram.

EK2350 Mikro teknik eller liknande kurs.

När kurs inte längre ges har student möjlighet att examineras under ytterligare två läsår.

• EXA1 - Examination, 15,0 hp, betygsskala: P, F

Examinator beslutar, baserat på rekommendation från KTH:s handläggare av stöd till studenter med funktionsnedsättning, om eventuell anpassad examination för studenter med dokumenterad, varaktig funktionsnedsättning.

Examinator får medge annan examinationsform vid omexamination av enstaka studenter.

För godkänt på kursen krävs att licens erhållits eller motsvarande kunskap tillskansats på tio fabrikations- och karakteriseringsverktyg för mikro- eller nanofabrikation. Valet av utrustning skall omfatta minst en mönsterdefinitionsutrustning, en materialavverkningsutrustning, en materialdeponeringsutrustning och ett karakteriseringsutrustning.

Niclas Roxhed

• Vid grupparbete har alla i gruppen ansvar för gruppens arbete.
• Vid examination ska varje student ärligt redovisa hjälp som erhållits och källor som använts.
• Vid muntlig examination ska varje student kunna redogöra för hela uppgiften och hela lösningen.