Den här kursen utgår från den viktigaste komponenten i alla integrerade kretsar, MOSFETtransistorn, som tillverkas i kisel med nanometerdimensioner. Fokus är på lågeffekts-CMOSteknologi. Nya topologier och byggsätt diskuteras enligt den s.k. Moores lag. Kursen ger också en grund i minnesteknologier inom kiselteknologin och nya alternativ baserade på andra fysikaliska principer och material. Komponenter med särskilt hög prestanda för exempelvis högfrekvenstillämpningar introduceras också med exempel från III/V-halvledarteknologi eller motsvarande.
Kursens huvudsakliga innehåll:
- Grundläggande fysik för MOS-systemet och formulering av approximativa strömspänningsrelationer för MOS-transistorn. Kompakta fysikbaserade modeller för kretssimuleringar. Modellering av extremfall i tillverkningsprocessen s.k. ’process corners’.
- Skalningsteori och teknologinoder för CMOS-teknologi.
- Moderna CMOS-komponenttopologier, SOI och FinFET, 3D-strukturer inklusive ’nanowire/sheet’.
- Minnesteknologier: laddningsbaserade, resistiva eller baserade på andra fysikaliska
- principer.
- Nya teknologier och tillämpningar som exempelvis spinntronik, 2D-material och 3Dbyggsätt.
- Designregler, robusthet, testning, tillförlitlighet, felanalys, variabilitet på komponent-, chip- och wafernivå.
- Materialegenskaper och transportegenskaper inom III/V och andra sammansatta högmobilitetshalvledare.