Kursen avser materialanalysmetoder med tyngdpunkt på tillämpningar inom nano- och halvledartekniken och omfattar teori och laborationer (de senare markerade med *) för följande metoder:
- Röntgendiffraktion (XRD)*
- Svepsondmikroskopi (AFM)*
- Jonstrålebaserade metoder (SIMS, RBS*)
- Elektronmikroskopi (TEM, SEM*)
- Fotoelektronspektroskopier (XPS, UPS, Auger, m.m.)
- Elektriska karakteriseringsmetoder (I/V, C/V, m.m.)
- Optiska metoder (fotoluminiscens, Raman, FTIR, m.m.)