FIH3608 Nanokomponenttillverkning 7,5 hp

En översikt av nanotekniken och tillämpningar inom medicin, bioteknik, och molekylär elektronik. Tillverkningsparadigm: top down(utgår från etablerad teknik från mikrokomponentvärlden) och bottom up (utgår från molekyler som kan göras självorganiserande). De viktigaste processtegen i dagens mikroelektronikteknologi. Karakteriseringsmetoder: elektriskt, optiskt, fysikaliskt, kemiskt. Orientering om nanofysik och simuleringsmetoder.

Kursen ger studenten en inblick i nano- och mikrokomponent-tillverkning och karakterisering genom teori och praktik. Tillämpningar inom medicin, bioteknik, och molekylär elektronik.
Studenten ska efter genomgången kurs kunna förklara.
• tillverkningsparadigmen top down och bottom up.
• vilka processteg som behövs för respektive metod.
• hur de viktigaste processtegen fungerar.
• vilka fysikaliska principer som är begränsande vid tillverkningen och nedskalningen av en nano- eller mikrokomponent.
• vilken miljöbelastning halvledartillverkningen orsakar och förstå energieffektiviseringsåtgärder som bör beaktas.
Studenten ska efter genomgången laborationskurs ha fått:
• tillverka en enkel nanostruktur
• karakterisera den tillverkade strukturen
• mäta elektriskt på en submikrometer halvledarkomponent i den forskningsmiljö som KTHs halvledarlabb, Electrumlaboratoriet, erbjuder.

Antagen som forskarstuderande

En grundläggande kurs i halvledarkomponenter eller halvledarfysik.

Fabrication Engineering at the Micro- and Nanoscale (The Oxford Series in Electrical and Computer Engineering) Paperback – November 15, 2012

by Stephen A. Campbell (Author)

ISBN-13: 978-0199861224 ISBN-10: 0199861226 Edition: 4th

Silicon VLSI Technology: Fundamentals, Practice and Modeling, Plummer, Deal and Griffin. Upplaga: 1 Förlag: Prentice-Hall År: 2000. ISBN: 0-13-085037-3

När kurs inte längre ges har student möjlighet att examineras under ytterligare två läsår.

• EXA1 - Examination, 7,5 hp, betygsskala: P, F

Examinator beslutar, baserat på rekommendation från KTH:s handläggare av stöd till studenter med funktionsnedsättning, om eventuell anpassad examination för studenter med dokumenterad, varaktig funktionsnedsättning.

Examinator får medge annan examinationsform vid omexamination av enstaka studenter.

Godkänd laborationskurs och muntlig tentamen.

Per-Erik Hellström

• Vid grupparbete har alla i gruppen ansvar för gruppens arbete.
• Vid examination ska varje student ärligt redovisa hjälp som erhållits och källor som använts.
• Vid muntlig examination ska varje student kunna redogöra för hela uppgiften och hela lösningen.