Kursen ger en introduktion till epitaxiell kristalltillväxt med flera exempel på tekniska tillämpningar och specifika materialsystem. Grunderna för kristalltillväxtprocessen baserat på gaskinetik, nykleationsteori och termodynamik, samt ett antal epitaxiella processer beskrivs i detalj.
FIH3607 Halvledarepitaxi 10,5 hp
Information per kursomgång
Kursomgångar saknas för aktuella eller kommande terminer.
Kursplan som PDF
Notera: all information från kursplanen visas i tillgängligt format på denna sida.
Kursplan FIH3607 (VT 2019–)Rubriker med innehåll från kursplan FIH3607 (VT 2019–) är markerade med en asterisk ( )
Innehåll och lärandemål
Kursinnehåll
Lärandemål
Kursen behandlar grunderna för kristalltillväxt på en avancerad nivå, metoder och instrumentering för epitaxiell tunnfilmstillväxt, samt en orientering om specifika materialsystem av intresse för en rad mikro och optoelektroniska applikationer.
Efter avslutad kurs ska studenterna kunna:
. Redogöra för grundläggande processer vid kristalltillväxt med hänsyn till både termodynamiska och kinestiska aspekter
. Beskriva vätskefasepitaxi (LPE)
. Beskriva hydrid-baserad gasfas epitaxi (HVPE)
. Beskriva metallorganisk gasfasepitaxi (MOVPE)
. Beskriva molekylstråleepitaxi (MBE)
. Beskriva processen selektivarea-tillväxt (SAG) samt dess tillämpningar
. Förstå grunderna för numerisk modellering av epitaxiella processer
. Beskriva egenskaper och användningsområden för olika sammansatta halvledarmaterial, t.ex. GaAs, InP, SIC, SiGe, GaN och relaterae materialsystem, samt nanostrukturerade material därav.
Kurslitteratur och förberedelser
Särskild behörighet
Grundläggande fysik och kemikurser på högskolenivå
Rekommenderade förkunskaper
Grundläggande fysik- och kemikurser.
Kurslitteratur
Du hittar information om kurslitteratur antingen i kursomgångens kurs-PM eller i kursomgångens kursrum i Canvas.
Examination och slutförande
När kurs inte längre ges har student möjlighet att examineras under ytterligare två läsår.
Betygsskala
P, F
Examination
- EXA1 - Examination, 10,5 hp, betygsskala: P, F
Examinator beslutar, baserat på rekommendation från KTH:s handläggare av stöd till studenter med funktionsnedsättning, om eventuell anpassad examination för studenter med dokumenterad, varaktig funktionsnedsättning.
Examinator får medge annan examinationsform vid omexamination av enstaka studenter.
Aktivt deltagande på föreläsningar och seminarier, eget kortare föredrag samt hemuppgifter
Examinator
Etiskt förhållningssätt
- Vid grupparbete har alla i gruppen ansvar för gruppens arbete.
- Vid examination ska varje student ärligt redovisa hjälp som erhållits och källor som använts.
- Vid muntlig examination ska varje student kunna redogöra för hela uppgiften och hela lösningen.
Ytterligare information
Kursrum i Canvas
Registrerade studenter hittar information för genomförande av kursen i kursrummet i Canvas. En länk till kursrummet finns under fliken Studier i Personliga menyn vid kursstart.
Ges av
Huvudområde
Denna kurs tillhör inget huvudområde.
Utbildningsnivå
Forskarnivå