- Växelverkan mellan plasman och ytor: elektron-inducerad elektronemission (sekundäremission av elektroner, tillbakaspridning av elektroner, reflektion av elektroner), jon-inducerad elektronemission (kinetisk, potentiell), termojonisk emission, fältinducerad emission, fotoelektrisk emission, sputtring (fysikalisk, kemisk), tillbakaspridning av joner.
- Elektronenergibalans i både växel- och likströmsurladdningar. Plasmaförstärkning via jonisering, samt plasmaförlust via diffusion, rekombination, och strömförluster.
- Bestämmande parametrar: kollisionalitet, joniseringsgrad, magnetiseringsgrad (för elektroner och joner). Karakteristiska längdenheter: gyroradie, fri medelväglängd för elastiska kollisioner och jonisering, samt plasmaskiktets tjocklek.
- Urladdningstyper: DC glim-, båg- och högfrekvensurladdningar, samt sputtermagnetroner.
- Tillämpningar för hållbarhetsutveckling: omvandling av koldioxid, ozontillverkning, vattenrening, medicinska tillämpningar, avfallshantering.
EF2270 Teknisk plasmafysik 6,0 hp

Plasma, den fjärde aggregationsformen, utgör 99% av vårt kända universum. På jorden bidrar plasma-relaterade industrier uppskattningsvis till cirka 20% av BNP, och numera finns användningsområden i nästan alla industrigrenar – från småskalig etsning vid kretskortstillverkning till plasmasvetsning. Nya rön och tillämpningsområden är till exempel plasmabearbetning vid atmosfäriskt tryck, plasmaprocesser som svar på miljöfrågor, plasmatillämpningar inom medicinen och plasmananoteknologi.
Information per kursomgång
Välj termin och kursomgång för att se aktuell information och mer om kursen, såsom kursplan, studieperiod och anmälningsinformation.
Information för HT 2025 Start 2025-10-27 programstuderande
- Studielokalisering
KTH Campus
- Varaktighet
- 2025-10-27 - 2026-01-12
- Perioder
- P2 (6,0 hp)
- Studietakt
33%
- Anmälningskod
51405
- Undervisningsform
Normal Dagtid
- Undervisningsspråk
Engelska
- Kurs-PM
- Kurs-PM är inte publicerat
- Antal platser
Ingen platsbegränsning
- Målgrupp
Öppen för alla program under förutsättning att kursen kan ingå i programmet.
- Planerade schemamoduler
- [object Object]
- Schema
- Schema är inte publicerat
Kontakt
Kursplan som PDF
Notera: all information från kursplanen visas i tillgängligt format på denna sida.
Kursplan EF2270 (HT 2025–)Innehåll och lärandemål
Kursinnehåll
Lärandemål
Efter godkänd kurs ska studenten kunna
- förklara de fysikaliska mekanismer som styr växelverkan mellan plasma och ytor, samt redogöra för deras effekt och signifikans i diverse plasmaomgivningar
- resonera kring de praktiska tillämpningar av elektronemissionsfysik som är relevanta för plasmaurladdningar och diagnostik
- beskriva de plasmaprocesser och karakteristiska parametrar som listas i kursinnehållet
- beskriva hur de sex olika listade urladdningstyperna fungerar, med fokus på de dominerande plasmaförloppen
- beskriva de listade tekniska tillämpningarna och förklara hur de karakteristiska parametrarna hos urladdningstyperna förhåller sig till den önskade funktionen hos respektive plasmaverktyg
- beskriva tillämpningar för plasmaurladdningar som relaterar till mål för hållbar utveckling, samt resonera kring för- och nackdelar i jämförelse med konkurrerande teknologier som inte använder plasman
i syfte att bli bekant med ett brett spektrum av tekniska plasmaverktyg och kunna analysera och beskriva deras huvudsakliga plasmakarakteristika och principen för hur de fungerar.
Kurslitteratur och förberedelser
Särskild behörighet
Kunskaper i plasmafysik, 6 hp, motsvarande slutförd kurs EF2200.
Aktivt deltagande i kursomgång vars slutexamination ännu inte är Ladokrapporterad jämställs med slutförd kurs.
Den som är registrerad anses vara aktivt deltagande.
Med slutexamination avses både ordinarie examination och det första omexaminationstillfället.
Rekommenderade förkunskaper
Basic electromagnetic field theory.
For single course students: documented proficiency in English B or equivalent.
Kurslitteratur
Examination och slutförande
När kurs inte längre ges har student möjlighet att examineras under ytterligare två läsår.
Betygsskala
Examination
- INL1 - Inlämningsuppgifter, 3,0 hp, betygsskala: A, B, C, D, E, FX, F
- TENA - Skriftlig tentamen, 3,0 hp, betygsskala: A, B, C, D, E, FX, F
Examinator beslutar, baserat på rekommendation från KTH:s handläggare av stöd till studenter med funktionsnedsättning, om eventuell anpassad examination för studenter med dokumenterad, varaktig funktionsnedsättning.
Examinator får medge annan examinationsform vid omexamination av enstaka studenter.
Examinator
Etiskt förhållningssätt
- Vid grupparbete har alla i gruppen ansvar för gruppens arbete.
- Vid examination ska varje student ärligt redovisa hjälp som erhållits och källor som använts.
- Vid muntlig examination ska varje student kunna redogöra för hela uppgiften och hela lösningen.
Ytterligare information
Kursrum i Canvas
Ges av
Huvudområde
Utbildningsnivå
Övergångsbestämmelser
Det tidigare provmomentet TEN1 ersätts av både INL1 och TENA.
Övrig information
I denna kurs tillämpas EECS hederskodex, se:
http://www.kth.se/eecs/utbildning/hederskodex.