Hoppa till huvudinnehållet
Till KTH:s startsida

IH2659 Tillverkningstekniker för nanokomponenter 7,5 hp

Kursen omfattar processteknologier som används i mikro- och nanotillverkning av komponenter och system på skivor. Tillämpningar är alla teknologier som baseras på tillverking på skivor så som integrerade kretsar, mikroelektriska-mekaniska system och optiska komponenter. De grundläggande tillverkningsstegen deponering, mönstring, etsning, dopning och värmebehandling behandlas följt av processintegration för att tillverka komplexa komponenter inklusive statistisk processkontroll och avkastningsmodeller. Moores lag och den grundläggande ekonomin för integrerade kretsar ingår och exemplifieras med avancerade processteknologinoder. Praktisk erfarenhet av att tillverka komponenter i ett renrum (Electrumlaboratoriet) och använda ett antal tillverkningssteg som behandlas i kursen. Kursen ger studenten grundläggande förståelse för hållbarhetsaspekterna inom integrerad kretstillverkning.

Information per kursomgång

Välj termin och kursomgång för att se aktuell information och mer om kursen, såsom kursplan, studieperiod och anmälningsinformation.

Termin

Kursplan som PDF

Notera: all information från kursplanen visas i tillgängligt format på denna sida.

Kursplan IH2659 (HT 2023–)
Rubriker med innehåll från kursplan IH2659 (HT 2023–) är markerade med en asterisk ( )

Innehåll och lärandemål

Kursinnehåll

Kursen omfattar processteknologier som används i mikro- och nanotillverkning av komponenter och system på skivor. Tillämpningar är alla teknologier som baseras på tillverking på skivor så som integrerade kretsar, mikroelektriska-mekaniska system och optiska komponenter. De grundläggande tillverkningsstegen deponering, mönstring, etsning, dopning och värmebehandling behandlas följt av processintegration för att tillverka komplexa komponenter inklusive statistisk processkontroll och avkastningsmodeller. Moores lag och den grundläggande ekonomin för integrerade kretsar ingår och exemplifieras med avancerade processteknologinoder. Praktisk erfarenhet av att tillverka komponenter i ett renrum (Electrumlaboratoriet) och använda ett antal tillverkingssteg som behandlas i kursen.

Kursen ger studenten grundläggande förståelse för hållbarhetsaspekterna inom integrerad kretstillverkning.

Lärandemål

Efter kursen skall studenten kunna

  • diskutera och redogöra för enskilda tillverkningsprocesser för mikro- och nanofabrikation på skivor
  • diskutera och redogöra för Moores lag och avancerade processteknologier
  • diskutera och redogöra för exempel på processintegration
  • använda modeller och beräkna relevanta egenskaper och förhållanden inom processteknik
  • tillverka komponenter i ett renrum.

Kurslitteratur och förberedelser

Särskild behörighet

Kunskaper i envariabelanalys, 7,5 hp, motsvarande slutförd kurs SF1625/SF1673/SF1685.

Kunskaper i klassisk fysik, 7,5 hp, motsvarande slutförd kurs SK1108/SK1118.

Kunskaper i engelska motsvarande gymnasiekursen Engelska B/Engelska 6.

Rekommenderade förkunskaper

Kurser på kandidatnivå eller högre i fasta tillståndets fysik och halvledarkomponenter.

Utrustning

Ingen information tillagd

Kurslitteratur

Ingen information tillagd

Examination och slutförande

När kurs inte längre ges har student möjlighet att examineras under ytterligare två läsår.

Betygsskala

A, B, C, D, E, FX, F

Examination

  • LAB1 - Laboration, 1,0 hp, betygsskala: P, F
  • TENM - Muntlig tentamen, 4,0 hp, betygsskala: A, B, C, D, E, FX, F
  • TENS - Skriftlig tentamen, 2,5 hp, betygsskala: A, B, C, D, E, FX, F

Examinator beslutar, baserat på rekommendation från KTH:s handläggare av stöd till studenter med funktionsnedsättning, om eventuell anpassad examination för studenter med dokumenterad, varaktig funktionsnedsättning.

Examinator får medge annan examinationsform vid omexamination av enstaka studenter.

Möjlighet till komplettering

Ingen information tillagd

Möjlighet till plussning

Ingen information tillagd

Examinator

Etiskt förhållningssätt

  • Vid grupparbete har alla i gruppen ansvar för gruppens arbete.
  • Vid examination ska varje student ärligt redovisa hjälp som erhållits och källor som använts.
  • Vid muntlig examination ska varje student kunna redogöra för hela uppgiften och hela lösningen.

Ytterligare information

Kursrum i Canvas

Registrerade studenter hittar information för genomförande av kursen i kursrummet i Canvas. En länk till kursrummet finns under fliken Studier i Personliga menyn vid kursstart.

Ges av

Huvudområde

Elektroteknik

Utbildningsnivå

Avancerad nivå

Påbyggnad

Ingen information tillagd

Kontaktperson

Per-Erik Hellström

Övergångsbestämmelser

Den tidigare modulen TEN1 ersätts av TENS och TENM från och med HT 2023.

Övrig information

I denna kurs tillämpas EECS hederskodex, se: http://www.kth.se/eecs/utbildning/hederskodex.